Procesy transportowe w pomieszczeniach bezpyłowych na przykładzie firmy ASML Netherlands

Abstrakt

Artykuł porusza kwestie warunków, jakie muszą zostać spełnione, aby uznać pomieszczenie za czyste, tj. pozbawione wszelkich zanieczyszczeń, z którymi człowiek styka się przez cały czas. Autorzy podejmują próbę zdefiniowania pojęć niezbędnych do zrozumienia zagadnienia pomieszczeń bezpyłowych i ukazują historię wynalezienia skutecznych filtrów przeciwpyłowych, począwszy od pierwszych prób ochrony dróg oddechowych strażaków narażonych na wdychanie toksycznych produktów pochodzących ze spalania, poprzez wynalezienie filtrów absolutnych stosowanych początkowo na szeroką skalę w przemyśle militarnym, aż do współczesności, gdzie znalazły zastosowanie w wielu gałęziach przemysłu, przyczyniając się do ich rozwoju. Przedstawione zostały również specyfikacje pomieszczeń czystych wraz z klasyfikacją zanieczyszczeń mających destrukcyjny wpływ podczas procesów produkcji najnowocześniejszej elektroniki. Poruszono kwestię możliwych metod transportu i obowiązujących podczas tego typu operacji procedur wewnątrz pomieszczeń, wraz z przejściem przez środowisko zewnętrzne (naturalne) na przykładzie firmy ASML Netherlands. W podsumowaniu autorzy stwierdzają, że przedstawione w artykule informacje dotyczące konieczności zachowania wysokiego reżimu czystości przekładają się na jakość oferowanych produktów, a starania zmierzające do osiągnięcia wysokiej czystości wymagają od przedsiębiorstw dużego nakładu pracy i środków finansowych.